Everhart-Thornley-Detektor

Der Everhart-Thornley-Detektor ist ein System, welches hauptsächlich dafür benutzt wird, Sekundärelektronen einer Probe in einem Rasterelektronenmikroskop in eine elektrische Größe umzuwandeln.

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Prinzip

Der Detektor besteht aus einem Szintillator und einem Photomultiplier, ist also ein Szintillationszähler. Die Elektronen erzeugen im Szintillator Photonen durch Kathodolumineszenz, welche wiederum vom Photomultiplier aufgenommen, verstärkt und in eine elektrische Größe umgewandelt werden. Der Elektronenimpuls wird somit in einen Spannungsimpuls umgewandelt.

Eigenschaften

Der Detektor ist besonders rauscharm und besitzt eine große Bandbreite der auswertbaren Elektronen.

Verwendung

Wird meist in Rasterelektronenmikroskop verwendet.