DIN EN ISO 14644

Die DIN EN ISO 14644 ist eine Norm für Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche. Die Teile 1 und 2 der Norm lösen den alten US Federal Standard 209E ab. Dieser ist in den Jahren zuvor zum Ermitteln einer Reinraumklassifikation verwendet worden. Aus diesem Grund baut die ISO 14644 auf ihm auf, und die Reinraumklassifikationen sind mit denen des Federal Standard vergleichbar.

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Die Norm behandelt als Thema Reinräume für den Halbleiterbereich (Schutz des Produktes vor dem Menschen und Umweltbedingungen), sowie für Biologische Gefahrenstoffe (Schutz des Menschen und der Umwelt vor dem Produkt).

Liste der Teile der Norm:

• Teil 1 Klassifizierung der Luftreinheit
• Teil 2 Festlegungen zur Prüfung und Überwachung zum Nachweis der fortlaufenden Übereinstimmung mit ISO 14644-1
• Teil 3 Prüfverfahren
• Teil 4 Planung, Ausführung und Erst-Inbetriebnahme
• Teil 5 Betrieb
• Teil 6 Begriffe (Entwurf 2005)
• Teil 7 SD-Module (Reinlufthauben, Handschuhboxen, Isolatoren und Minienvironments)
• Teil 8 Klassifikation luftgetragener molekularer Kontamination (Entwurf 2004)

Einzelnachweise

1. ↑ http://www.iest.org/publctns/fedstd209.htm